Opis produktu
Specyfikacja techniczna maszyny do PVD GALACTIC GAVA 500 CAPVD
sterowanie PLC: MITSUBISHI A1S1
rodzaje powłok: TiN, TiCN,TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN, CrAlN, TiSiAlN, AlCrN, ZrO, CrCO
gabaryty komory próżniowej (śr. x wys.): ⌀600 x 600 mm
maksymalny ciężar detalu: 500 kg
maksymalna próżnia: 5x 6-10 mbar
ewaporator CAPVD (2 szt.)
pompa Rootsa: LEYBOLD 501 S (2 szt.)
wydajność pompy Rootsa: 4040 m3/h
ciśnienie pompy Rootsa: 3-10 mbar
pompa turbomolekularna: LEYBOLD MAGiNTEGRA
wydajność pompy turbomolekularnej: 2000 l/s
ciśnienie pompy turbomolekularnej: 6-10 mbar
kompresor
urządzenie chłodzące (chiller)
uchwyty satelitarne (18 szt.)
dystrybucja gazów procesowych: przepływomierze masowe z sensorami
kontrola temperatury: termopara typu K
zasilanie maszyny GALACTIC GAVA 500 CAPVD: 3x 400 V; 50 Hz
